Monografie
Elektronenmikroskopische Untersuchung der Bildung von CoSi2-Schichten auf Si(001)
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1999
- Identifier
-
967344344
Thema
Silicium ; Kristallfläche ; Cobaltdisilicid ; Epitaxieschicht ; Kohlenstoff ; Durchstrahlungselektronenmikroskopie ; Kohlenstoff ; Cobaltdisilicid ; Durchstrahlungselektronenmikroskopie ; Epitaxie ; Cobaltsilicide ; Silicium; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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