Monografie
Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Univ., Diss., 2003
- Identifier
-
968689035
Thema
Epitaxie ; Ionenstrahl ; Niedrigtemperatur ; Silicium ; Schichtwachstum ; Epitaxieschicht ; Silicium ; Epitaxie ; Niedrigtemperatur ; elektronische Eigenschaft; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:56 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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