Hochschulschrift
Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Univ., Diss., 2003
- Schlagwort
-
Epitaxie
Ionenstrahl
Niedrigtemperatur
Silicium
Schichtwachstum
Epitaxieschicht
Silicium ; Epitaxie ; Niedrigtemperatur ; elektronische Eigenschaft
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-14839
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:47 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
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