Monografie

Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties

Language
Englisch
Notes
Stuttgart, Univ., Diss., 2003
Identifier
968689035

Subject
Epitaxie ; Ionenstrahl ; Niedrigtemperatur ; Silicium ; Schichtwachstum ; Epitaxieschicht ; Silicium ; Epitaxie ; Niedrigtemperatur ; elektronische Eigenschaft; Hochschulschrift

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Last update
26.01.2023, 1:56 PM CET

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