Monografie
Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
-
München, Univ., Diss., 1999
- Identifier
-
957711379
Thema
Silicium ; Kristallfläche ; Ionenimplantation ; Epitaxie ; Nanostruktur ; Röntgenstreuung ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:53 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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