Monografie
Untersuchung von oberflächennahen Nanostrukturen in Silizium-Systemen nach Ionenimplantation und bei epitaktischem Wachstum mit Methoden der Röntgenstreuung
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
München, Univ., Diss., 1999
- Identifier
-
957711379
Subject
Silicium ; Kristallfläche ; Ionenimplantation ; Epitaxie ; Nanostruktur ; Röntgenstreuung ; Hochschulschrift
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:53 PM CET
Object type
- Monografie
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