- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
121093261X
Thema
Silicium; Doppelschicht; Cobaltdisilicid; Cobalt; Titan; Kohlenstoff; Siliciumdioxid; Epitaxie; Plasmaätzen
Beteiligte Personen und Organisationen
Hortenbach, Heiko
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Hortenbach, Heiko
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