Monografie

Adhesion mechanism between laser sputtered materials, Copper and Aluminum on Silicon substrate

Sprache
Englisch
Identifier
1165650436

Thema
Wafer ; Silicium ; Laserbeschichten ; Kupfer ; Aluminium ; Dünne Schicht ; Adhäsion ; Aluminum; Adhesion; Copper; Materials; Silicon; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Azhdast, Mohammad Hossein
Lang, Klaus Dieter
Lang, Klaus Dieter
Eichler, Hans Joachim
Schneider, Thomas

DOI
10.14279/depositonce-7281
URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:55 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


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