Monografie

Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition

Sprache
Englisch
Identifier
122029389X

Reihe
Wissenschaftlich-technische Berichte; FZR-425

Thema
Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Schmidt, Jan-Uwe

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:58 MEZ

Objekttyp


  • Monografie

Beteiligte


  • Schmidt, Jan-Uwe

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