Hochschulschrift
Temperature measurement during millisecond annealing : ripple pyrometry for flash lamp annealers
- Weitere Titel
-
Ripple pyrometry during millisecond annealing on shallow Boron-doped Silicon wafers
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783658113872
3658113871
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XXV, 112 Seiten
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen, Diagramme
TU Bergakademie Freiberg, Dissertation, 2015
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Wafer
Silicium
Bor
Dotierung
Substrat
Rapid thermal processing
Blitzlampe
Pyrometrie
Thermomechanische Eigenschaft
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Wiesbaden
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
[2015]
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:46 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
Entstanden
- [2015]
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