Monografie

Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition

Language
Englisch
Notes
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2004
Identifier
974939080

Subject
Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern ; Dünne Schicht ; Flash-Speicher ; Nanostrukturiertes Material ; Silicium ; Siliciumoxide ; Sputtern; Hochschulschrift

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Last update
26.01.2023, 1:53 PM CET

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