Hochschulschrift
Präparation und Charakterisierung von gesputterten a-Si:F-Schichten
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
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30 cm
- Umfang
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90 S., Anh.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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graph. Darst.
Zugleich im Handel
Aachen, Techn. Hochsch., Math.-Naturwiss. Fak., Diss., 1987
- Schlagwort
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Dünne Schicht
Sputtering
Silizium
Dünne Schicht
Sputtern
Silicium
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 14:20 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift