Hochschulschrift
Präparation und Charakterisierung von gesputterten a-Si:F-Schichten
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
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30 cm
- Extent
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90 S., Anh.
- Language
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Deutsch
- Notes
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graph. Darst.
Zugleich im Handel
Aachen, Techn. Hochsch., Math.-Naturwiss. Fak., Diss., 1987
- Keyword
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Dünne Schicht
Sputtering
Silizium
Dünne Schicht
Sputtern
Silicium
- Creator
- Table of contents
- Rights
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- Last update
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11.06.2025, 2:20 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift