Monografie

Microstructure and grain boundary evolution in titanium thin films

Sprache
Englisch
Identifier
1275707203

Thema
Mikrostruktur; Magnetronsputtern; Nanostrukturiertes Material; PVD-Verfahren; Kupfer; Werkstoffkunde; Dünne Schicht; Titan; Korngrenze; Durchstrahlungselektronenmikroskopie

Beteiligte Personen und Organisationen
Devulapalli, Vivek
Dehm, Gerhard
Schneider, Jochen M.
Fakultät für Maschinenbau

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
02.05.2023, 09:12 MESZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Devulapalli, Vivek
  • Dehm, Gerhard
  • Schneider, Jochen M.
  • Fakultät für Maschinenbau

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