Influence of defects on the phase stability of arc evaporated cubic titanium aluminum nitride and oxynitride coatings

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Dissertation, 2022

Schlagwort
PVD-Verfahren
Dünne Schicht
Titannitrid
Schichtwachstum
Beschichten
Aluminiumoxide

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2022
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

DOI
10.18154/RWTH-2022-08998
URN
urn:nbn:de:101:1-2022120512322644869730
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:45 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2022

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