Monografie

Influence of defects on the phase stability of arc evaporated cubic titanium aluminum nitride and oxynitride coatings

Language
Englisch
Identifier
1274675510

Series
Aachen : RWTH Aachen University, 2022 (Materials chemistry dissertation; 39 (2022))

Subject
PVD-Verfahren; Dünne Schicht; Titannitrid; Schichtwachstum; Beschichten; Aluminiumoxide

Contributor

DOI
10.18154/RWTH-2022-08998
URN
Rights
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Last update
02.05.2023, 9:12 AM CEST

Object type

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