Effect of target power density on the chemical composition, phase formation, and mechanical properties of MAX-phase Cr$_2}$AlC coatings and prediction of mechanical properties of VAlN

Weitere Titel
Einfluss der Targetleistungsdichte auf die chemische Zusammensetzung, Phasenbildung und mechanische Eigenschaften von MAX-Phasen Cr$_2}$AlC Beschichtungen und die Vorhersage der mechanischen Eigenschaften von VAlN
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, Dissertation, 2019

Schlagwort
Dünne Schicht
Magnetronsputtern
Schichtwachstum
PVD-Verfahren
Mechanische Eigenschaft
Titannitrid
Aluminiumoxide

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2019
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

DOI
10.18154/RWTH-2020-08944
URN
urn:nbn:de:101:1-2023032902455281697615
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:48 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2019

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