Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: 10.1364/OE.398805

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(wann)
2020
Urheber
Deuter, Valerie
Grochowicz, Maciej
Brose, Sascha Manuel
Biller, Jan
Danylyuk, Serhiy
Taubner, Thomas
Siemion, Agnieszka
Grützmacher, Detlev
Juschkin, Larissa

DOI
10.18154/RWTH-2020-09340
URN
urn:nbn:de:101:1-2021020407250205861853
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:50 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2020

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