Investigation of proximity effects in electron microscopy and lithography

Sprache
Englisch
Identifier
1057937169

Thema
-

Beteiligte Personen und Organisationen
Walz, Marie-Madeleine
Vollnhals, Florian
Rietzler, Florian
Schirmer, Matthias
Steinrück, Hans-Peter
Marbach, Hubertus

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:52 MEZ

Beteiligte


  • Walz, Marie-Madeleine
  • Vollnhals, Florian
  • Rietzler, Florian
  • Schirmer, Matthias
  • Steinrück, Hans-Peter
  • Marbach, Hubertus

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