Investigation of proximity effects in electron microscopy and lithography

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Applied Physics Letters 100.5 (2012): 06.11.2012

Classification
Physik
Keyword
-

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2012
Contributor
Walz, Marie-Madeleine
Vollnhals, Florian
Rietzler, Florian
Schirmer, Matthias
Steinrück, Hans-Peter
Marbach, Hubertus

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus-38138
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:58 AM CEST

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Associated

  • Walz, Marie-Madeleine
  • Vollnhals, Florian
  • Rietzler, Florian
  • Schirmer, Matthias
  • Steinrück, Hans-Peter
  • Marbach, Hubertus
  • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Time of origin

  • 2012

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