Polystyrene negative resist for high-resolution electron beam lithography

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
1556-276X
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Polystyrene negative resist for high-resolution electron beam lithography ; volume:6 ; number:1 ; day:12 ; month:7 ; year:2011 ; pages:1-6 ; date:12.2011
Nanoscale research letters ; 6, Heft 1 (12.7.2011), 1-6, 12.2011

Urheber
Ma, Siqi
Con, Celal
Yavuz, Mustafa
Cui, Bo
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/1556-276X-6-446
URN
urn:nbn:de:101:1-2021081720373438047216
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:59 MESZ

Datenpartner

Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.

Beteiligte

  • Ma, Siqi
  • Con, Celal
  • Yavuz, Mustafa
  • Cui, Bo
  • SpringerLink (Online service)

Ähnliche Objekte (12)