Field emission scanning probe lithography on molecular resist

Weitere Titel
Feldemissions-basierte Rastersondenlithographie auf Molekularem Resist
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2017

Schlagwort
Field emission
Lithography
Glass
Technology
Pitch

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
TU Ilmenau
(wann)
2018
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2017000656
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:55 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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