Fabrication of carbon nanomembranes by helium ion beam lithography

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource

Bibliographic citation
Fabrication of carbon nanomembranes by helium ion beam lithography ; volume:5 ; pages:188-194
Beilstein journal of nanotechnology ; 5, 188-194

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.5.20
URN
urn:nbn:de:101:1-201501261214
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
20.09.88025, 11:21 PM CEST

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