Electron beam lithography contributions from Jena

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939718802
Maße
23 cm, 401 g
Umfang
167 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Vistec Electron Beam GmbH
Geschichte 1950-2014
Geschichte
Elektronenstrahllithografie
Elektronenstrahllithografie
Jena

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Jena
(wer)
Vopelius
(wann)
[2014]
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:30 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • [2014]

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