Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: 10.1364/OE.398805

Classification
Physik

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2020
Creator
Deuter, Valerie
Grochowicz, Maciej
Brose, Sascha Manuel
Biller, Jan
Danylyuk, Serhiy
Taubner, Thomas
Siemion, Agnieszka
Grützmacher, Detlev
Juschkin, Larissa

DOI
10.18154/RWTH-2020-09340
URN
urn:nbn:de:101:1-2021020407250205861853
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:50 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2020

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