- Alternative title
-
Computational proximity lithography with extreme ultraviolet radiation
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
RWTH Aachen University, Dissertation, 2021
- Keyword
-
Nanoprägen
Soft Computing
Nanopartikel
Extremes Ultraviolett
Ultraviolett
Photoresist
Numerisches Verfahren
Strahlenschaden
Rezeption
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
-
2022
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.18154/RWTH-2022-02884
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022042803262594904711
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:26 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Associated
- Deuter, Valerie
- Grützmacher, Detlev
- Taubner, Thomas
- Juschkin, Larissa
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2022
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