Monografie
Untersuchung des Temperaturkoeffizienten und anderer Materialeigenschaften von Laser-ausgeheilten amorphen Silizium- und Silizium-Germanium-Schichten
- Language
-
Deutsch
- Extent
-
XVII, 198 S.
- Notes
-
Zugl.: Duisburg, Essen, Univ., Diss., 2013
- ISBN
-
978-3-8440-1985-8
- Identifier
-
1035472333
- Series
-
Berichte aus der Halbleitertechnik
Subject
Silicium ; Germanium ; Halbleiterschicht ; Amorpher Zustand ; PECVD-Verfahren ; Lasertempern ; Excimerlaser ; Temperaturabhängigkeit ; Stoffeigenschaft ; CMOS ; Hochschulschrift
Contributor
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
15.04.2024, 8:48 AM CEST
Object type
- Monografie
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Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Dotierung von amorphen Kohlenwasserstoffschichten
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