- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Oldenburg, Univ., Diss., 2000
- Identifier
-
961039760
Subject
Kohlenwasserstoffe ; Amorpher Zustand ; PECVD-Verfahren ; Dotierung ; Halbleiterschicht ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:57 PM CET
Object type
- Monografie
Associated
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Untersuchungen zum Einfluß netzwerkmodifizierender Elemente auf die freie Oberflächenenergie amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten
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Realisierung eines Mehrkammer-Depositionssystems zur kontinuierlichen photovoltaischen Beschichtung flexibler Substrate
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Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen
Untersuchungen zur Synthese von c-BN-Schichten mit ECWR-PACVD und Boran-Ammonia als Eduktmaterial
Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen
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