Monografie
Dynamische plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen Silizium-Dünnschichtsolarzellen mittels linearer Höchstfrequenz-Plasmaquellen
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
VIII, 148 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2013
- ISBN
-
978-3-86386-964-9
- Identifier
-
1034889052
Thema
Dünnschichtsolarzelle ; Silicium ; Amorpher Zustand ; Mikrokristall ; PECVD-Verfahren ; Hochfrequenzplasma ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:49 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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