Hochschulschrift
Oberflächen-Passivierung von kristallinem Silicium durch Aluminiumoxid
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839612538
3839612535
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
xxx, 167 Seiten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Dissertation, 2016
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Silicium
Kristalliner Stoff
Passivierung
Aluminiumoxide
Passivschicht
Atomlagenabscheidung
PECVD-Verfahren
Probekörper
Degradation
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Fraunhofer Verlag
- (when)
-
2018
- Creator
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:11 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kühnhold-Pospischil, Saskia
- Fraunhofer IRB-Verlag
- Fraunhofer ISE
- Fraunhofer Verlag
Time of origin
- 2018
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