Hochschulschrift
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Classification
-
Chemie
- Keyword
-
Carboxylate
Diketonate
Effusionsmethode
Kupfer
MOCVD-Verfahren
Phosphane
Phosphite
Ruthenium
Thermogravimetrie
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:50 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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