Hochschulschrift
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
- Keyword
-
PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-12529
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 14.08.2025, 10:46 AM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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