Monografie
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
- Identifier
-
985390689
Thema
PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
Ähnliche Objekte (12)
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Funktionsschichten für flexible, kostengünstige CIGS-Dünnschichtsolarzellen, Akronym: FlexNet : Schlussbericht (öffentlicher Teil) des Verbundvorhabens ; Laufzeit: 01.08.2006 - 31.01.2010
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
Atmospheric pressure microwave plasma assisted coating processes for particulate materials
Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Prozessentwicklung zur Abscheidung dehnbarer Barriereschichten auf PET mittels Plasmapolymerisation = Processs development for stretchable barrier layers on PET by means of plasma polymerisation
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Development and applications of stamps for area-selective plasma treatment and plasma-enhanced coating
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Funktionsschichten für flexible, kostengünstige CIGS-Dünnschichtsolarzellen, Akronym: FlexNet : Schlussbericht (öffentlicher Teil) des Verbundvorhabens ; Laufzeit: 01.08.2006 - 31.01.2010
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
Atmospheric pressure microwave plasma assisted coating processes for particulate materials
Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Prozessentwicklung zur Abscheidung dehnbarer Barriereschichten auf PET mittels Plasmapolymerisation = Processs development for stretchable barrier layers on PET by means of plasma polymerisation
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr
Development and applications of stamps for area-selective plasma treatment and plasma-enhanced coating
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
Untersuchungen zur Hochrateabscheidung harter DLC-Schichten
Prozessentwicklung zur Herstellung von Zinnoxid- und Zirkoniumoxidschichten in der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung
Funktionsschichten für flexible, kostengünstige CIGS-Dünnschichtsolarzellen, Akronym: FlexNet : Schlussbericht (öffentlicher Teil) des Verbundvorhabens ; Laufzeit: 01.08.2006 - 31.01.2010
Abscheidung und Charakterisierung von PECVD-Aluminiumoxidschichten
Atmospheric pressure microwave plasma assisted coating processes for particulate materials
Herstellung und Charakterisierung dünner Gatedielektrika auf Germanium
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
Prozessentwicklung zur Abscheidung dehnbarer Barriereschichten auf PET mittels Plasmapolymerisation = Processs development for stretchable barrier layers on PET by means of plasma polymerisation
Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan zur Abscheidung von quarzähnlichen Schichten bei gepulster Leistungszufuhr