Hochschulschrift
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
- Schlagwort
-
PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Beschichten ; Titandioxid
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-12529
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:47 MEZ
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Objekttyp
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