Hochschulschrift

Plasmaunterstützte CVD-Abscheidung von Hartstoffschichten unter Verwendung metallorganischer Ausgangsverbindungen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783931986223
3931986225
Maße
21 cm
Umfang
177 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 1996

Schlagwort
Hartstoff
Beschichtung
PECVD-Verfahren
Metallorganische Verbindungen
Ausgangsmaterial

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Clausthal-Zellerfeld
(wer)
Papierflieger
(wann)
1996
Urheber
Berndt, Harald

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:26 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Berndt, Harald
  • Papierflieger

Entstanden

  • 1996

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