Hochschulschrift

Spektrokopische Untersuchungen zur Prozeßoptimierung beim plasmagestützten CVD von Hartstoffschichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783897200517
3897200511
Maße
21 cm
Umfang
136 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 1997

Schlagwort
Hartstoff
Schichtwachstum
PECVD-Verfahren
Plasmaspektroskopie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Clausthal-Zellerfeld
(wer)
Papierflieger
(wann)
1997
Urheber
Wöhle, Joachim

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:28 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Wöhle, Joachim
  • Papierflieger

Entstanden

  • 1997

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