Monografie

Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe

Sprache
Deutsch
Identifier
1305029992

Thema
Dünne Schicht; CVD-Verfahren; PECVD-Verfahren

Beteiligte Personen und Organisationen
Kuhn, Patrick
Mathur, Sanjay
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien

DOI
10.22028/D291-22392
URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
07.12.2023, 15:21 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Kuhn, Patrick
  • Mathur, Sanjay
  • INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien

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