Monografie
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1305029992
Thema
Dünne Schicht; CVD-Verfahren; PECVD-Verfahren
Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.22028/D291-22392
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
07.12.2023, 15:21 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Kuhn, Patrick
- Mathur, Sanjay
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
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