Monografie
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma CVD Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Sprache
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Deutsch
- Identifier
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1305029992
- DOI
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10.22028/D291-22392
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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07.12.2023, 15:21 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Kuhn, Patrick
- Mathur, Sanjay
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien