Hochschulschrift
Untersuchungen zur plasmaaktivierten Abscheidung von eisenhaltigen amorphen Kohlenwasserstoffschichten aus metallorganischen Precursorn
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
137 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Hamburg, Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Kohlenwasserstoffe
Amorpher Zustand
Eisen
Dünne Schicht
PECVD-Verfahren
- Creator
-
Luithardt, Wolfram
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:36 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Luithardt, Wolfram
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