Hochschulschrift
Untersuchungen zur plasmaaktivierten Abscheidung von eisenhaltigen amorphen Kohlenwasserstoffschichten aus metallorganischen Precursorn
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
137 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hamburg, Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Kohlenwasserstoffe
Amorpher Zustand
Eisen
Dünne Schicht
PECVD-Verfahren
- Urheber
-
Luithardt, Wolfram
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 11:56 UTC
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Luithardt, Wolfram
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