Hochschulschrift

Untersuchung der PECVD-Abscheidung von Schichten bei niedrigen Temperaturen aus metallorganischen Verbindungen

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
VI, 202 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 1999

Keyword
Kupfer
Wolfram
Titan
Aluminium
Dünne Schicht
CVD-Verfahren

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Last update
11.03.2025, 12:20 PM CET

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