Hochschulschrift
Massenspektroskopische Untersuchungen des plasmaaktivierten CVD-Verfahrens mit metallorganischen Verbindungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
V, 116 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Bremen, Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Hartstoff
PECVD-Verfahren
Massenspektrometrie
- Urheber
-
Zeng, Aiqun
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:49 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Zeng, Aiqun
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