Hochschulschrift
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Saarbrücken, Univ., Diss., 2010
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Dünne Schicht ; Ultraschallsensor ; Ferroelektrischer Sensor ; Akustischer Sensor ; Perowskit ; PZT ; Ausgangsmaterial ; CVD-Verfahren
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-31882
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:45 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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