Hochschulschrift
Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Stuttgart, Universität Stuttgart, Dissertation, 2015
- Klassifikation
-
Physik
- Schlagwort
-
Plasma
Beschichten
Gasphase
Ausgangsmaterial
Permeation
Hexamethyldisiloxan
Gas
HDPE
Chemischer Reaktor
Abscheider
Teilchen
Hartstoff
Beschichtung ; Plasma
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Hirth, Thomas
- DOI
-
10.18419/opus-8772
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-87897
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:50 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Baier, Maximilian Paul
- Hirth, Thomas
- Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Entstanden
- 2016
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