Hochschulschrift
VUV-Photo-CVD : Untersuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-Quelle
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
121 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Stuttgart, Univ., Diss., 1994
- Schlagwort
-
Laser-CVD-Verfahren
Vakuumultraviolett
Amorpher Halbleiter
- Urheber
-
Kessler, Friedrich
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.0055, 13:24 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kessler, Friedrich
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