Synthese und Charakterisierung von neuartigen Halogenalanderivaten und deren Anwendung in der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)

Weitere Titel
Synthesis and characterization of novel halogenalane-derivatives and their application in chemical vapor deposition (CVD)
Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Dissertation, 2012

Schlagwort
Chemische Synthese
CVD-Verfahren
Kristallstruktur
Ausgangsmaterial

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Saarbrücken
(wer)
Universität des Saarlandes
(wann)
2012
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Veith, Michael
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien

DOI
10.22028/D291-22815
URN
urn:nbn:de:bsz:291:415-7920
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:58 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2012

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