Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
- Weitere Titel
-
Synthesis of novel single-source precursors for the chemical vapor deposition (CVD) of lead zirconate titanate (PZT)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Dissertation, 2010
- Schlagwort
-
PZT
Dünne Schicht
CVD-Verfahren
Piezoelektrischer Aktor
Numerische Strömungssimulation
Piezoelektrischer Wandler
Piezokeramik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Saarbrücken
- (wer)
-
Universität des Saarlandes
- (wann)
-
2010
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Veith, Michael
INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- DOI
-
10.22028/D291-24609
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291:415-7496
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Bender, Michael
- Veith, Michael
- INM - Leibniz-Institut für Neue Materialien
- Universität des Saarlandes
Entstanden
- 2010
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