Hochschulschrift
Neuartige Derivate der Orthokieselsäure und deren Anwendbarkeit zur Abscheidung oxidischer Schichten in CVD-Prozessen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XI, 126 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1993
- Schlagwort
-
Orthokieselsäurederivate
Chemische Synthese
Orthokieselsäurederivate
Oxide
CVD-Verfahren
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:00 MEZ
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Objekttyp
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