Hochschulschrift
Neuartige Derivate der Orthokieselsäure und deren Anwendbarkeit zur Abscheidung oxidischer Schichten in CVD-Prozessen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XI, 126 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1993
- Keyword
-
Orthokieselsäurederivate
Chemische Synthese
Orthokieselsäurederivate
Oxide
CVD-Verfahren
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:00 PM CET
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- Hochschulschrift
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