Hochschulschrift

Chemische Gasphasenabscheidung oxidischer Schichten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183566051
3183566052
Maße
21 cm
Umfang
VIII, 135 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss.

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 566, Reihe 5

Schlagwort
Zirkoniumdioxid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Cerdioxid
Dünne Schicht
MOCVD-Verfahren
Hochtemperatursupraleiter
Zwischenschicht
Oxidschicht

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1999
Urheber
Krellmann, Mathias

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Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:42 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Krellmann, Mathias
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1999

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