Hochschulschrift
Kupfer- und Ruthenium-Precursoren: Synthese, Charakterisierung und deren Verwendung zur Abscheidung metallischer Schichten nach dem CVD-Verfahren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Klassifikation
-
Chemie
- Schlagwort
-
Carboxylate
Diketonate
Effusionsmethode
Kupfer
MOCVD-Verfahren
Phosphane
Phosphite
Ruthenium
Thermogravimetrie
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901579
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:50 MEZ
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Objekttyp
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