Hochschulschrift
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
108 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2000 (Nicht für den Austausch)
- Schlagwort
-
Trichlorsilanderivate
Methylgruppe
Ausgangsmaterial
Pyrolyse
Siliciumcarbid
CVD-Verfahren
Boranderivate
Methoxygruppe
Ausgangsmaterial
Pyrolyse
Bornitrid
CVD-Verfahren
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:09 MESZ
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Objekttyp
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