Hochschulschrift
Versuche zur Synthese potentieller Precursoren für die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrom-, Molybdän- und Wolframsiliciden
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
134 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Köln, Univ., Diss., 1993
- Schlagwort
-
Siliciumnitrid
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
Bornitrid
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
Silicide
CVD-Verfahren
Ausgangsmaterial
Chemische Synthese
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:49 MESZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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