Monografie
Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
972279490
Thema
Reflektometrie ; Röntgenstrahlung ; Dickenmessung ; Dünnschichttechnik ; Röntgenstreuung ; Diffuse Streuung ; Mehrschichtsystem ; Grenzfläche ; Oberflächenanalyse ; Nanometerbereich ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
Busch, Ingo
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Busch, Ingo
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