Monografie
Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bielefeld, Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
971281130
Thema
Molybdän ; Silicium ; Röntgenspiegel ; Mehrschichtsystem ; Mikrostruktur ; Grenzfläche ; Magnetronsputtern ; Impulslaserbeschichten ; Mehrschichtsystem ; Extremes Ultraviolett ; Molybdän ; Silicium ; Spiegel; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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