Monografie
Herstellung und Charakterisierung von schmalbandigen EUV-Multischichtenspiegeln für Anwendungen mit Fs-HHG-Strahlung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bielefeld, Univ., Diss., 2001
- Identifier
-
963801236
Thema
Molybdän ; Silicium ; Mehrschichtsystem ; Spiegel ; Extremes Ultraviolett ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Lim, Yong Cheol
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Lim, Yong Cheol
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