Hochschulschrift | Online-Publikation

Herstellung und Charakterisierung von schmalbandigen EUV-Multischichtenspiegeln für Anwendungen mit Fs-HHG-Strahlung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Bielefeld, Univ., Diss., 2001

Schlagwort
Molybdän
Silicium
Mehrschichtsystem
Spiegel
Extremes Ultraviolett

Urheber
Lim, Yong Cheol

URN
urn:nbn:de:hbz:361-4936
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:45 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift
  • Online-Publikation

Beteiligte

  • Lim, Yong Cheol

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